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      刃口測量儀技術參數
      
    
      更新時間：2019-03-21        點擊次數：2740
      
    
      
    	
      小測量半徑：2µm

      小測量楔角：20°

      小測量粗糙度（Ra）：80nm

      小測量粗糙度（Sa）：50nm

      大掃描高度：25mm

      大操作距離：17.5（5×物鏡）

      大擴展視野范圍：2500mm2

      垂直分辨率：20nm

      大單一方向測量范圍：50mm

      位移范圍（X/Y）:50mm×50mm(自動調節)

      位移范圍（Z）:130mm(26mm自動調節)
      
    
      
    
      
    	
    
      

      




      
  
      
    
      
      
      
      
        
      
          
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      電子郵箱：info@dataphys.com.cn
      
          
      公司地址：北京市海淀區知春路甲63號51號樓衛星大廈1208室
      
        
      
        
      
          
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